產品時間:2025-08-14
氧化鋁(碳化硅)陶瓷基板燒結制備設備的用途及特點:該設備主要用于氮化鋁(或碳化硅)陶瓷基板的燒結成型。(1)臥式爐體結構,雙層水冷夾套設計,一鍵啟動,全自動運行工藝穩定可靠。(2)帶有氮氣預熱功能,配多路質量流量計,多點進氣,有利于爐溫均勻性。(3)爐膛內由低灰分石墨發熱體,低灰分石墨硬氈保溫,長壽命熱電偶測溫,配進口紅外監測,測控溫穩定可靠。
氧化鋁(碳化硅)陶瓷基板燒結制備設備的用途及特點:
該設備主要用于氮化鋁(或碳化硅)陶瓷基板的燒結成型。
(1)臥式爐體結構,雙層水冷夾套設計,一鍵啟動,全自動運行工藝穩定可靠。
(2)帶有氮氣預熱功能,配多路質量流量計,多點進氣,有利于爐溫均勻性。
(3)爐膛內由低灰分石墨發熱體,低灰分石墨硬氈保溫,長壽命熱電偶測溫,配進口紅外監測,測控溫穩定可靠。
(4)發熱元件沿爐膛內壁園周均勻布置,多均控溫有利于加熱溫度均勻,配有多段PID和智能診斷功能,進一步提高燒結質量。
(5)爐后帶快冷風機及熱交換器,冷卻速度快,提高生產效率。
氧化鋁(碳化硅)陶瓷基板燒結制備主要規格:
設計溫度2200℃、真空1Pa、裝料區尺寸有(長寬高):800×400×400mm、1500×500×500mm、1800×800×800mm